例えば、通常の再生方法ではダメージ層を取り除くため研磨処理を行いますが、 レジストの成膜テストなど表面ダメージが少ないウェーハに対しては研磨処理を伴わない ケミカル再生が有効です。研磨再生と比べてパーティクルレベルは劣りますが、材厚や平坦度を損なわない再生処理としてご好評をいただいています。

なお、再生処理費用は良品の仕上がり数量でご清算させていただきます。

再生する事ができなかったウェーハはお客様へご返却するか、またはお客様の了承のもと廃棄させていただきます。

セーレンＫＳＴが提供するウェーハ再生サービスは、細かなランク分類にも対応するなど、柔軟性に優れ、再生後のウェーハに成膜してご提供するといった多様なご要求にもお応えいたします。